Η τεχνολογία σωληνώσεων αερίου υψηλής καθαρότητας αποτελεί σημαντικό μέρος του συστήματος παροχής αερίου υψηλής καθαρότητας, το οποίο είναι η βασική τεχνολογία για την παροχή του απαιτούμενου αερίου υψηλής καθαρότητας στο σημείο χρήσης και εξακολουθεί να διατηρεί την ειδική ποιότητα. Η τεχνολογία σωληνώσεων αερίου υψηλής καθαρότητας περιλαμβάνει το σωστό σχεδιασμό του συστήματος, την επιλογή εξαρτημάτων και αξεσουάρ, κατασκευής και εγκατάστασης και δοκιμές. Τα τελευταία χρόνια, οι ολοένα και πιο αυστηρές απαιτήσεις σχετικά με την περιεκτικότητα σε καθαρότητα και ακαθαρσίες των αερίων υψηλής καθαρότητας στην παραγωγή προϊόντων μικροηλεκτρονικής που αντιπροσωπεύονται από ολοκληρωμένα κυκλώματα μεγάλης κλίμακας έχουν καταστήσει την τεχνολογία σωληνώσεων των αερίων υψηλής καθαρότητας που ανησυχούν όλο και περισσότερο. Το παρακάτω είναι μια σύντομη επισκόπηση των σωληνώσεων αερίου υψηλής καθαρότητας από την επιλογή υλικούof Κατασκευή, καθώς και αποδοχή και καθημερινή διαχείριση.
Τύποι κοινών αερίων
Ταξινόμηση κοινών αερίων στη βιομηχανία ηλεκτρονικών ειδών：
Κοινά αέρια(Χύδην αέριο): υδρογόνο (h2), άζωτο (n2), οξυγόνο (o2), Argon (α2), κ.λπ.
Ειδικά αέριαείναι SIH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCl,CF4 ,NH3,Ποντίκι3, Sih2cl2 Sihcl3,NH3, BCL3 ,Σοφός4 ,CLF3 ,Συνεργάτης,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… κλπ.
Οι τύποι ειδικών αερίων μπορούν γενικά να ταξινομηθούν ως διαβρωτικοίαέριο, τοξικόςαέριο, εύφλεκτοςαέριο, καύσιμοαέριο, αδρανήαέριο, κλπ. Τα συνήθως χρησιμοποιούμενα αέρια ημιαγωγών ταξινομούνται γενικά ως εξής.
(i) διαβρωτικό / τοξικόαέριο: HCL, BF3, WF6, HBR, SIH2Cl2, NH3, Ph3, CL2, BCL3…και τα λοιπά.
(ii) Ευφημαιότηςαέριο: H2, CH4, Sih4, Ph3, Ash3, Sih2Cl2, Β2H6, CH2F2,Ch3F, CO ... κλπ.
(iii) καύσιμοαέριο: O2, CL2, N2O, NF3... κλπ.
(iv) αδρανέςαέριο: N2, Βλέπε4, Γ2F6, Γ4F8,SF6, CO2, Ne, kr, αυτός ... κλπ.
Πολλά αέρια ημιαγωγών είναι επιβλαβή για το ανθρώπινο σώμα. Συγκεκριμένα, μερικά από αυτά τα αέρια, όπως το SIH4 Η αυθόρμητη καύση, εφόσον η διαρροή θα αντιδράσει βίαια με το οξυγόνο στον αέρα και θα αρχίσει να καίγεται. και τέφρα3Εξαιρετικά τοξικό, οποιαδήποτε ελαφρά διαρροή μπορεί να προκαλέσει τον κίνδυνο της ανθρώπινης ζωής, οφείλεται σε αυτούς τους προφανείς κινδύνους, οπότε οι απαιτήσεις για την ασφάλεια του σχεδιασμού του συστήματος είναι ιδιαίτερα υψηλές.
Πεδίο εφαρμογής των αερίων
Ως σημαντική βασική πρώτη ύλη της σύγχρονης βιομηχανίας, χρησιμοποιούνται ευρέως προϊόντα φυσικού αερίου και χρησιμοποιούνται μεγάλος αριθμός κοινών αερίων ή ειδικών αερίων σε μεταλλουργία, χάλυβα, πετρέλαιο, χημική βιομηχανία, μηχανήματα, ηλεκτρονικά, γυαλί, κεραμικά, δομικά υλικά, κατασκευές, επεξεργασία τροφίμων, ιατρικής και ιατρικής τομέας. Η εφαρμογή του αερίου έχει σημαντικό αντίκτυπο στην υψηλή τεχνολογία αυτών των πεδίων ειδικότερα και είναι το απαραίτητο αέριο πρώτων υλών ή αέριο επεξεργασίας. Μόνο με τις ανάγκες και την προώθηση διαφόρων νέων βιομηχανικών τομέων και της σύγχρονης επιστήμης και τεχνολογίας, τα προϊόντα της βιομηχανίας φυσικού αερίου μπορούν να αναπτυχθούν με άλματα από την άποψη της ποικιλίας, της ποιότητας και της ποσότητας.
Εφαρμογή φυσικού αερίου στη βιομηχανία μικροηλεκτρονικής και ημιαγωγών
Η χρήση του αερίου έχει διαδραματίσει πάντα σημαντικό ρόλο στη διαδικασία ημιαγωγών, ειδικά η διαδικασία ημιαγωγών έχει χρησιμοποιηθεί ευρέως σε διάφορες βιομηχανίες, από την παραδοσιακή ULSI, TFT-LCD στην τρέχουσα μικρο-ηλεκτρο-μηχανική βιομηχανία (MEMS), οι οποίες χρησιμοποιούν τη λεγόμενη διαδικασία παραγωγής ως τη διαδικασία κατασκευής των προϊόντων. Η καθαρότητα του αερίου έχει αποφασιστική επίδραση στην απόδοση των εξαρτημάτων και των αποδόσεων του προϊόντος και η ασφάλεια της παροχής αερίου σχετίζεται με την υγεία του προσωπικού και την ασφάλεια των εργοστασίων.
Η σημασία των σωληνώσεων υψηλής καθαρότητας στη μεταφορά αερίου υψηλής καθαρότητας
Στη διαδικασία της τήξης του ανοξείδωτου χάλυβα και της κατασκευής υλικού, περίπου 200g αερίου μπορούν να απορροφηθούν ανά τόνο. Μετά την επεξεργασία του ανοξείδωτου χάλυβα, όχι μόνο η επιφάνεια του κολλώδη με διάφορες μολυντές, αλλά και στο μεταλλικό πλέγμα του απορρόφησε επίσης μια ορισμένη ποσότητα αερίου. Όταν υπάρχει ροή αέρα μέσω του αγωγού, το μέταλλο απορροφά αυτό το τμήμα του αερίου θα εισάγει εκ νέου τη ροή του αέρα, ρυπτώντας το καθαρό αέριο. Όταν η ροή του αέρα στο σωλήνα είναι ασυνεχή ροή, ο σωλήνας προσροφά το αέριο υπό πίεση και όταν η ροή του αέρα σταματά να διέρχεται, το αέριο προσροφάται από τον σωλήνα σχηματίζει μια πτώση πίεσης για να επιλύσει και το διαλυμένο αέριο εισέρχεται επίσης στο καθαρό αέριο στον σωλήνα ως ακαθαρσίες. Ταυτόχρονα, επαναλαμβάνονται η προσρόφηση και η ανάλυση, έτσι ώστε το μέταλλο στην εσωτερική επιφάνεια του σωλήνα να παράγει επίσης μια ορισμένη ποσότητα σκόνης και αυτά τα σωματίδια μεταλλικής σκόνης μολύνουν επίσης το καθαρό αέριο μέσα στο σωλήνα. Αυτό το χαρακτηριστικό του σωλήνα είναι απαραίτητο για να εξασφαλιστεί η καθαρότητα του μεταφερόμενου αερίου, το οποίο απαιτεί όχι μόνο μια πολύ υψηλή ομαλότητα της εσωτερικής επιφάνειας του σωλήνα, αλλά και με υψηλή αντοχή στη φθορά.
Όταν χρησιμοποιείται το αέριο με ισχυρή διαβρωτική απόδοση, πρέπει να χρησιμοποιούνται ανοξείδωτοι σωλήνες ανοξείδωτο χάλυβα για τη διάβρωση. Διαφορετικά, ο σωλήνας θα παράγει σημεία διάβρωσης στην εσωτερική επιφάνεια λόγω της διάβρωσης και σε σοβαρές περιπτώσεις θα υπάρξει μεγάλη έκταση μεταλλικής απογύμνωσης ή ακόμα και διάτρησης, η οποία θα μολύνει το καθαρό αέριο που θα διανεμηθεί.
Η σύνδεση των αγωγών μετάδοσης και διανομής υψηλής καθαρότητας και υψηλής καθαρότητας των μεγάλων ρυθμών ροής.
Κατ 'αρχήν, όλοι είναι συγκολλημένοι και οι σωλήνες που χρησιμοποιούνται απαιτούνται για να μην έχουν καμία αλλαγή στην οργάνωση όταν εφαρμόζεται η συγκόλληση. Τα υλικά με πολύ υψηλή περιεκτικότητα σε άνθρακα υπόκεινται στη διαπερατότητα του αέρα των συγκολλημένων τμημάτων κατά τη συγκόλληση, γεγονός που καθιστά την αμοιβαία διείσδυση αερίων μέσα και έξω από το σωλήνα και καταστρέφει την καθαρότητα, την ξηρότητα και την καθαριότητα του μεταδιδόμενου αερίου, με αποτέλεσμα την απώλεια όλων των προσπαθειών μας.
Συνοπτικά, για τον αγωγό μετάδοσης υψηλής καθαρότητας και ειδικού αγωγού μεταφοράς αερίου, είναι απαραίτητο να χρησιμοποιηθεί μια ειδική επεξεργασία σωλήνα από ανοξείδωτο χάλυβα υψηλής καθαρότητας, για να δημιουργηθεί σύστημα αγωγών υψηλής καθαρότητας (συμπεριλαμβανομένων των σωλήνων, των εξαρτημάτων, των βαλβίδων, VMB, VMP) στην κατανομή αερίου υψηλής καθαρότητας καταλαμβάνει μια ζωτική αποστολή.
Γενική έννοια της καθαρής τεχνολογίας για αγωγούς μετάδοσης και διανομής
Η εξαιρετικά καθαρή και καθαρή μετάδοση σώματος αερίου με σωληνώσεις σημαίνει ότι υπάρχουν ορισμένες απαιτήσεις ή έλεγχοι για τρεις πτυχές του αερίου που πρόκειται να μεταφερθούν.
Καθαρότητα αερίου: Το περιεχόμενο της ατμόσφαιρας της ακαθαρσίας στην καθαρότητα των GGAs: Το περιεχόμενο της ατμόσφαιρας ακαθαρσιών στο αέριο, που συνήθως εκφράζεται ως ποσοστό καθαρότητας αερίου, όπως 99,9999%, εκφράζεται επίσης ως αναλογία όγκου της περιεκτικότητας σε ατμόσφαιρα ακαθαρσίας PPM, PPB, PPT.
Ξηρότητα: Η ποσότητα της υγρασίας των ιχνοστοιχείων στο αέριο ή η ποσότητα που ονομάζεται υγρασία, που συνήθως εκφράζεται από την άποψη του σημείου δροσιάς, όπως η ατμοσφαιρική πίεση δροσιάς -70. ΝΤΟ.
Καθαριότητα: Ο αριθμός των μολυσματικών σωματιδίων που περιέχονται στο αέριο, το μέγεθος των σωματιδίων μm, πόσα σωματίδια/m3 πρέπει να εκφράζουν, για πεπιεσμένο αέρα, συνήθως εκφράζονται επίσης από την άποψη του πόσα mg/m3 των αναπόφευκτων στερεών υπολειμμάτων, τα οποία καλύπτουν την περιεκτικότητα σε έλαιο.
Ταξινόμηση μεγέθους ρύπων: Τα σωματίδια ρύπων, αναφέρονται κυρίως στην καθαρισμό, τη φθορά των αγωγών, τη διάβρωση που παράγονται από τα σωματίδια μετάλλων, τα σωματίδια ατμοσφαιρικής αιθάλης, καθώς και οι μικροοργανισμοί, οι φάκελοι και τα σταγονίδια συμπύκνωσης αερίου, κ.λπ.
α) μεγάλα σωματίδια - μέγεθος σωματιδίων πάνω από 5μm
β) Διάμετρος σωματιδίου-Υλικό μεταξύ 0,1 μm-5μm
C) Εξαιρετικά σωματίδια-μέγεθος σωματιδίων μικρότερο από 0,1μm.
Προκειμένου να ενισχυθεί η εφαρμογή αυτής της τεχνολογίας, ώστε να είναι σε θέση να αντιληφθεί την κατανόηση του μεγέθους των σωματιδίων και των μm μονάδων, παρέχεται ένα σύνολο ειδικών σωματιδίων για αναφορά
Το παρακάτω είναι μια σύγκριση συγκεκριμένων σωματιδίων
| Όνομα /μέγεθος σωματιδίων (μm) | Όνομα /μέγεθος σωματιδίων (μm) | Όνομα/ μέγεθος σωματιδίων (μm) |
| Ιός 0.003-0.0 | Αεροζόλ 0.03-1 | Αεροζυλιωμένο μικροσωματίδιο 1-12 |
| Πυρηνικό καύσιμο 0.01-0.1 | Ζωγραφίστε 0,1-6 | Πετάξτε τέφρα 1-200 |
| Άνθρακα μαύρο 0.01-0.3 | Σκόνη γάλακτος 0,1-10 | Φυτοφάρμακο 5-10 |
| Ρητίνη 0,01-1 | Βακτήρια 0,3-30 | Σκόνη τσιμέντου 5-100 |
| Καπνός τσιγάρων 0,01-1 | Σκόνη άμμου 0,5-5 | Γύρη 10-15 |
| Σιλικόνη 0.02-0.1 | Φυτοφάρμακο 0.5-10 | Ανθρώπινα μαλλιά 50-120 |
| Κρυσταλλωμένο αλάτι 0,03-0,5 | Συμπυκνωμένη σκόνη θείου 1-11 | Θαλάσσια άμμο 100-1200 |
Χρόνος δημοσίευσης: Ιούνιος-14-2022