Η τεχνολογία σωληνώσεων αερίου υψηλής καθαρότητας είναι ένα σημαντικό μέρος του συστήματος παροχής αερίου υψηλής καθαρότητας, το οποίο είναι η βασική τεχνολογία για την παροχή του απαιτούμενου αερίου υψηλής καθαρότητας στο σημείο χρήσης και τη διατήρηση της κατάλληλης ποιότητας.Η τεχνολογία σωληνώσεων αερίου υψηλής καθαρότητας περιλαμβάνει τη σωστή σχεδίαση του συστήματος, την επιλογή εξαρτημάτων και εξαρτημάτων, την κατασκευή και εγκατάσταση και τη δοκιμή.Τα τελευταία χρόνια, οι ολοένα και πιο αυστηρές απαιτήσεις σχετικά με την καθαρότητα και την περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες αερίων υψηλής καθαρότητας στην παραγωγή μικροηλεκτρονικών προϊόντων που αντιπροσωπεύονται από ολοκληρωμένα κυκλώματα μεγάλης κλίμακας έχουν κάνει την τεχνολογία σωληνώσεων αερίων υψηλής καθαρότητας ολοένα και πιο ενδιαφέρουσα και τονισμένη.Ακολουθεί μια σύντομη επισκόπηση των σωληνώσεων αερίου υψηλής καθαρότητας από την επιλογή υλικούof κατασκευή, καθώς και αποδοχή και καθημερινή διαχείριση.
Τύποι κοινών αερίων
Ταξινόμηση κοινών αερίων στη βιομηχανία ηλεκτρονικών:
Κοινά αέρια(Αέριο χύμα): υδρογόνο (Η2), άζωτο (Ν2), οξυγόνο (Ο2), αργό (Α2), και τα λοιπά.
Ειδικά αέριαείναι SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… και τα λοιπά.
Τα είδη των ειδικών αερίων μπορούν γενικά να ταξινομηθούν ως διαβρωτικάαέριο, τοξικόςαέριο, εύφλεκτοαέριο, εύφλεκτοαέριο, αδρανήςαέριοκ.λπ. Τα συνήθως χρησιμοποιούμενα αέρια ημιαγωγών ταξινομούνται γενικά ως εξής.
(i) Διαβρωτικό / τοξικόαέριο: HCl , BF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3…και τα λοιπά.
(ii) Ευφλεκτότητααέριο: Χ2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, Β2H6, CH2F2,CH3F, CO… κλπ.
(iii) καύσιμοαέριο: Ο2, Cl2, Ν2Ο, NF3… και τα λοιπά.
(iv) Αδρανήαέριο: Ν2, CF4, Γ2F6, Γ4F8,SF6, CO2, Νε, Κρ, Αυτός… κ.λπ.
Πολλά αέρια ημιαγωγών είναι επιβλαβή για το ανθρώπινο σώμα.Συγκεκριμένα, ορισμένα από αυτά τα αέρια, όπως το SiH4 αυθόρμητη καύση, εφόσον μια διαρροή θα αντιδράσει βίαια με το οξυγόνο στον αέρα και θα αρχίσει να καίγεται.και AsH3εξαιρετικά τοξικό, οποιαδήποτε ελαφρά διαρροή μπορεί να προκαλέσει κίνδυνο ανθρώπινης ζωής, είναι λόγω αυτών των προφανών κινδύνων, επομένως οι απαιτήσεις για την ασφάλεια του σχεδιασμού του συστήματος είναι ιδιαίτερα υψηλές.
Πεδίο εφαρμογής αερίων
Ως σημαντική βασική πρώτη ύλη της σύγχρονης βιομηχανίας, τα προϊόντα αερίου χρησιμοποιούνται ευρέως και ένας μεγάλος αριθμός κοινών αερίων ή ειδικών αερίων χρησιμοποιούνται στη μεταλλουργία, τον χάλυβα, το πετρέλαιο, τη χημική βιομηχανία, μηχανήματα, ηλεκτρονικά, γυαλί, κεραμικά, οικοδομικά υλικά, κατασκευές , μεταποίησης τροφίμων, ιατρικής και ιατρικής.Η εφαρμογή του φυσικού αερίου έχει σημαντικό αντίκτυπο στην υψηλή τεχνολογία αυτών των πεδίων ιδιαίτερα, και είναι η απαραίτητη πρώτη ύλη αέριο ή αέριο διεργασίας.Μόνο με τις ανάγκες και την προώθηση διαφόρων νέων βιομηχανικών τομέων και της σύγχρονης επιστήμης και τεχνολογίας, τα προϊόντα της βιομηχανίας φυσικού αερίου μπορούν να αναπτυχθούν με άλματα και όρια όσον αφορά την ποικιλία, την ποιότητα και την ποσότητα.
Εφαρμογή αερίου στη βιομηχανία μικροηλεκτρονικών και ημιαγωγών
Η χρήση του αερίου έπαιζε πάντα σημαντικό ρόλο στη διαδικασία ημιαγωγών, ειδικά η διαδικασία ημιαγωγών έχει χρησιμοποιηθεί ευρέως σε διάφορες βιομηχανίες, από την παραδοσιακή ULSI, TFT-LCD έως την τρέχουσα βιομηχανία μικροηλεκτρομηχανικής (MEMS), όλες τα οποία χρησιμοποιούν τη λεγόμενη διεργασία ημιαγωγών ως διαδικασία παραγωγής προϊόντων.Η καθαρότητα του αερίου έχει καθοριστικό αντίκτυπο στην απόδοση των εξαρτημάτων και στις αποδόσεις των προϊόντων και η ασφάλεια της παροχής αερίου σχετίζεται με την υγεία του προσωπικού και την ασφάλεια των λειτουργιών της μονάδας.
Η σημασία των σωληνώσεων υψηλής καθαρότητας στη μεταφορά αερίου υψηλής καθαρότητας
Κατά τη διαδικασία τήξης και κατασκευής υλικού από ανοξείδωτο χάλυβα, μπορούν να απορροφηθούν περίπου 200 g αερίου ανά τόνο.Μετά την επεξεργασία του ανοξείδωτου χάλυβα, όχι μόνο η επιφάνειά του κολλούσε με διάφορους ρύπους, αλλά και στο μεταλλικό του πλέγμα απορροφούσε επίσης μια ορισμένη ποσότητα αερίου.Όταν υπάρχει ροή αέρα μέσω του αγωγού, το μέταλλο απορροφά αυτό το μέρος του αερίου θα εισέλθει ξανά στη ροή του αέρα, μολύνοντας το καθαρό αέριο.Όταν η ροή αέρα στο σωλήνα είναι ασυνεχής ροή, ο σωλήνας απορροφά το αέριο υπό πίεση και όταν η ροή του αέρα σταματά να διέρχεται, το αέριο που προσροφάται από τον σωλήνα σχηματίζει πτώση πίεσης για να διαχωριστεί και το διαλυμένο αέριο εισέρχεται επίσης στο καθαρό αέριο στο σωλήνα ως ακαθαρσίες.Ταυτόχρονα, η προσρόφηση και η ανάλυση επαναλαμβάνονται, έτσι ώστε το μέταλλο στην εσωτερική επιφάνεια του σωλήνα να παράγει επίσης μια ορισμένη ποσότητα σκόνης και αυτά τα σωματίδια μεταλλικής σκόνης μολύνουν επίσης το καθαρό αέριο μέσα στο σωλήνα.Αυτό το χαρακτηριστικό του σωλήνα είναι απαραίτητο για τη διασφάλιση της καθαρότητας του μεταφερόμενου αερίου, το οποίο απαιτεί όχι μόνο πολύ υψηλή ομαλότητα της εσωτερικής επιφάνειας του σωλήνα, αλλά και υψηλή αντοχή στη φθορά.
Όταν χρησιμοποιείται αέριο με ισχυρή διαβρωτική απόδοση, πρέπει να χρησιμοποιούνται σωλήνες από ανοξείδωτο χάλυβα ανθεκτικοί στη διάβρωση για σωληνώσεις.Διαφορετικά, ο σωλήνας θα δημιουργήσει σημεία διάβρωσης στην εσωτερική επιφάνεια λόγω διάβρωσης, και σε σοβαρές περιπτώσεις, θα υπάρχει μεγάλη περιοχή απογύμνωσης μετάλλου ή ακόμη και διάτρησης, που θα μολύνει το καθαρό αέριο που θα διανεμηθεί.
Η σύνδεση αγωγών μεταφοράς και διανομής αερίου υψηλής καθαρότητας και καθαριότητας μεγάλων ρυθμών ροής.
Καταρχήν, όλα είναι συγκολλημένα και οι χρησιμοποιούμενοι σωλήνες απαιτείται να μην έχουν καμία αλλαγή στην οργάνωση κατά την εφαρμογή της συγκόλλησης.Τα υλικά με πολύ υψηλή περιεκτικότητα σε άνθρακα υπόκεινται στη διαπερατότητα αέρα των συγκολλημένων μερών κατά τη συγκόλληση, η οποία κάνει την αμοιβαία διείσδυση αερίων εντός και εκτός του σωλήνα και καταστρέφει την καθαρότητα, την ξηρότητα και την καθαρότητα του μεταδιδόμενου αερίου, με αποτέλεσμα την απώλεια όλες τις προσπάθειές μας.
Συνοπτικά, για αγωγό μεταφοράς αερίου υψηλής καθαρότητας και ειδικού αγωγού αερίου, είναι απαραίτητο να χρησιμοποιηθεί ειδική επεξεργασία σωλήνων από ανοξείδωτο χάλυβα υψηλής καθαρότητας, για να κατασκευαστεί σύστημα αγωγών υψηλής καθαρότητας (συμπεριλαμβανομένων σωλήνων, εξαρτημάτων, βαλβίδων, VMB, VMP) στο Η διανομή αερίου υψηλής καθαρότητας καταλαμβάνει μια ζωτική αποστολή.
Γενική έννοια καθαρής τεχνολογίας για αγωγούς μεταφοράς και διανομής
Η μετάδοση του σώματος αερίου υψηλής καθαρότητας με σωληνώσεις σημαίνει ότι υπάρχουν ορισμένες απαιτήσεις ή έλεγχοι για τρεις πτυχές του αερίου που πρόκειται να μεταφερθεί.
Καθαρότητα αερίου: Η περιεκτικότητα της ατμόσφαιρας ακαθαρσίας στο gGas purity: Η περιεκτικότητα σε ατμόσφαιρα ακαθαρσίας στο αέριο, συνήθως εκφρασμένη ως ποσοστό καθαρότητας αερίου, όπως 99,9999%, εκφρασμένη επίσης ως ο λόγος όγκου της περιεκτικότητας σε ατμόσφαιρα ακαθαρσίας ppm, ppb, ppt.
Ξηρότητα: η ποσότητα της ίχνης υγρασίας στο αέριο, ή η ποσότητα που ονομάζεται υγρασία, που συνήθως εκφράζεται ως σημείο δρόσου, όπως το σημείο δρόσου ατμοσφαιρικής πίεσης -70.ΝΤΟ.
Καθαριότητα: ο αριθμός των μολυντικών σωματιδίων που περιέχονται στο αέριο, το μέγεθος των σωματιδίων των μm, πόσα σωματίδια/Μ3 να εκφραστούν, για τον πεπιεσμένο αέρα, συνήθως εκφράζεται επίσης ως πόσα mg/m3 αναπόφευκτων στερεών υπολειμμάτων, που καλύπτει την περιεκτικότητα σε λάδι .
Ταξινόμηση μεγεθών ρύπων: τα σωματίδια ρύπων, αναφέρονται κυρίως σε καθαρισμό αγωγών, φθορά, διάβρωση που προκαλείται από μεταλλικά σωματίδια, σωματίδια ατμοσφαιρικής αιθάλης, καθώς και από μικροοργανισμούς, φάγους και σταγονίδια συμπύκνωσης αερίων που περιέχουν υγρασία κ.λπ., ανάλογα με το μέγεθος του μεγέθους των σωματιδίων του επιμερίζεται σε
α) Μεγάλα σωματίδια – μέγεθος σωματιδίων άνω των 5μm
β) Σωματίδιο – διάμετρος υλικού μεταξύ 0,1μm-5μm
γ) Ultra-micro σωματίδια – μέγεθος σωματιδίων μικρότερο από 0,1μm.
Προκειμένου να βελτιωθεί η εφαρμογή αυτής της τεχνολογίας, ώστε να είναι δυνατή η αντιληπτική κατανόηση του μεγέθους των σωματιδίων και των μονάδων μm, παρέχεται ένα σύνολο συγκεκριμένων καταστάσεων σωματιδίων για αναφορά
Ακολουθεί σύγκριση συγκεκριμένων σωματιδίων
| Όνομα/Μέγεθος σωματιδίου (μm) | Όνομα/Μέγεθος σωματιδίου (μm) | Όνομα/Μέγεθος σωματιδίου (μm) |
| Ιός 0,003-0,0 | Αερόλυμα 0,03-1 | Αεροζόλ μικροσταγονίδιο 1-12 |
| Πυρηνικό καύσιμο 0,01-0,1 | Βαφή 0,1-6 | Ιπτάμενη τέφρα 1-200 |
| Μαύρος άνθρακας 0,01-0,3 | Γάλα σε σκόνη 0,1-10 | Φυτοφάρμακο 5-10 |
| Ρητίνη 0,01-1 | Βακτήρια 0,3-30 | Τσιμεντοσκόνη 5-100 |
| Καπνός τσιγάρου 0,01-1 | Σκόνη άμμου 0,5-5 | Γύρη 10-15 |
| Σιλικόνη 0,02-0,1 | Φυτοφάρμακο 0,5-10 | Ανθρώπινα μαλλιά 50-120 |
| Κρυσταλλωμένο αλάτι 0,03-0,5 | Συμπυκνωμένη σκόνη θείου 1-11 | Άμμος θαλάσσης 100-1200 |
Ώρα δημοσίευσης: Ιουν-14-2022