Η διαδικασία παραγωγής των ηλεκτρονικών ειδικών αερίων περιλαμβάνει αρκετές διαδικασίες όπως η σύνθεση, ο καθαρισμός, η πλήρωση, η ανάλυση και η δοκιμή, η ανάμειξη και η αναλογία. Προκειμένου να ικανοποιηθούν οι απαιτήσεις κατασκευής ημιαγωγών κατάντη για περιεχόμενο καθαρότητας και ακαθαρσίας, η διαδικασία καθαρισμού είναι πολύ σημαντική. Ανάλογα με τη σύνθεση του αέριο σύνθεσης ανάντη σύνθεσης ή το ακατέργαστο αέριο, η απόσταξη χαμηλής θερμοκρασίας ή ο καθαρισμός πολλαπλών σταδίων εκτελείται.
Απαιτήσεις υψηλής καθαριότητας
Η διαδικασία προετοιμασίας των ηλεκτρονικών ειδικών αερίων μπορεί να χωριστεί σε δύο σημαντικά μπλοκ της προετοιμασίας και του καθαρισμού της σύνθεσης ανάντη, η οποία ανήκει στη χημική διαδικασία παραγωγής. Το μέγεθος του αγωγού παραγωγής είναι μεγάλο και δεν υπάρχει ειδική απαίτηση επιπέδου καθαριότητας. Μετά τον κατάντη καθαρισμό, το προϊόν είναι γεμάτο με αέριο και αναμειγνύεται για προετοιμασία. Ο αγωγός παραγωγής είναι μικρός και έχει απαιτήσεις επιπέδου καθαριότητας. Πρέπει να ικανοποιήσει την τυπική προδιαγραφή της διαδικασίας παραγωγής ημιαγωγών.
Υψηλές απαιτήσεις σφράγισης
Λόγω της χημικής τους δραστηριότητας, τα ηλεκτρονικά αέρια εξειδίκευσης θέτουν επίσης υψηλές απαιτήσεις για τα υλικά και τη σφράγιση του συστήματος παραγωγής. Όπως και οι απαιτήσεις της παραγωγής ημιαγωγών, εμποδίζει τη διαρροή διεπαφής που προκαλείται από την εισαγωγή ακαθαρσιών ή τη διάβρωση ειδικών αερίων. Το σύστημα μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί για την πρόληψη της εισαγωγής ακαθαρσιών ή της διαρροής της διεπαφής που προκαλείται από τη διάβρωση των ειδικών αερίων.
Απαιτήσεις σταθερότητας υψηλής ποιότητας
Η ποιότητα των ηλεκτρονικών αερίων ειδικότητας περιλαμβάνει έναν αριθμό δεικτών όπως η περιεκτικότητα σε σωματίδια καθαρότητας και ακαθαρσίας. Οποιαδήποτε αλλαγή στους δείκτες θα επηρεάσει τα αποτελέσματα της διαδικασίας παραγωγής ημιαγωγών κατάντη. Επομένως, προκειμένου να διασφαλιστεί η συνέπεια των ηλεκτρονικών ειδικών δεικτών προϊόντων αερίου, το σύστημα διεργασίας παρασκευής για τον έλεγχο της σταθερότητας των δεικτών είναι επίσης πολύ σημαντική.
Λόγω της χημικής δραστηριότητας και των απαιτήσεων ποιότητας της EGP, το σύστημα παραγωγής για την προετοιμασία του EGP, ειδικά το σύστημα καθαρισμού κατάντη, πρέπει να πληροί τις απαιτήσεις των υλικών υψηλής καθαρότητας, στην υψηλή σφράγιση, στην υψηλή καθαριότητα και στη συνοχή υψηλής ποιότητας και στην κατασκευή μηχανικών εξαρτημάτων πρέπει να πληροί τα πρότυπα της βιομηχανίας παραγωγής ημιαγωγών.
Αυτό που συνήθως αναφέρουμε ως "υψηλή καθαρότητα" είναι θεωρητικά ο ορισμός της καθαρότητας μιας ουσίας, όπως τα αέρια υψηλής καθαρότητας, τα χημικά υψηλής καθαρότητας κλπ. Συστήματα διεργασιών ή συστατικά του συστήματος διεργασιών που εφαρμόζονται σε ουσίες υψηλής καθαρότητας αναφέρονται επίσης ως υψηλής φόρτωσης, όπως συστήματα υψηλής αποδοχής και βαλβίδες υψηλής καθαρότητας. Τα ηλεκτρονικά συστήματα προετοιμασίας αερίου ειδικού αερίου απαιτούν εξαρτήματα εφαρμογής υψηλής καθαρότητας, βαλβίδες και άλλα εξαρτήματα ρευστού, δηλαδή εξαρτήματα και βαλβίδες που επεξεργάζονται με υλικά υψηλής καθαρότητας και καθαρές διαδικασίες παραγωγής και είναι δομημένες για εύκολη καθαρισμό και καθαρισμό. Με υψηλή απόδοση σφράγισης. Αυτά τα στοιχεία ρευστού έχουν σχεδιαστεί για να ανταποκρίνονται στη διαδρομή ροής διεργασίας της εφαρμογής, χρησιμοποιώντας τις απαιτήσεις μηχανικής και κατασκευής της βιομηχανίας ημιαγωγών.
Συνδέσεις σωληνώσεων υψηλής καθαρότητας
Οι συνδέσεις σφράγισης με μεταλλική φλάντζα VCR και οι συνδέσεις συγκόλλησης με αυτόματο οδηγό χρησιμοποιούνται ευρέως σε απαιτήσεις απαιτήσεων καθαρότητας υγρού συστήματος λόγω της ικανότητας να ικανοποιούνται τόσο η ομαλή μετάβαση της διαδρομής ροής στη σύνδεση, η ζώνη στασιμότητας όσο και οι υψηλές απόδοσης σφράγισης. Επαναλαμβανόμενη και συνεπής απόδοση σύνδεσης και σφράγισης εξασφαλίζεται κάθε φορά που η παραμορφωμένη παρέμβυσμα αφαιρείται και αντικαθίσταται.
Οι σωλήνες συγκολλούνται χρησιμοποιώντας ένα αυτόματο σύστημα τροχιακής συγκόλλησης. Ο σωλήνας προστατεύεται από αέριο υψηλής καθαρότητας μέσα και έξω. Το ηλεκτρόδιο βολφραμίου περιστρέφεται κατά μήκος της τροχιάς για συγκόλληση υψηλής ποιότητας. Η πλήρης αυτοματοποιημένη τροχιακή συγκόλληση λιώνει τον σωλήνα χωρίς να εισάγει άλλα υλικά, η επίτευξη υψηλής ποιότητας συγκόλλησης, ελέγχοντας επανειλημμένα τον σωλήνα με λεπτό τοίχωμα είναι δύσκολο να επιτευχθεί με χειροκίνητη συγκόλληση.
Σύνδεση στεγανοποίησης μεταλλικής φλάντζας VCR
Αυτόματη σύνδεση με σωλήνες συγκόλλησης τροχιακών πισινών
Βαλβίδες υψηλής καθαρότητας
Η χημική δραστηριότητα των εύφλεκτων, εκρηκτικών, διαβρωτικών και τοξικών ηλεκτρονικών αέρια ειδικότητας θέτει υψηλές απαιτήσεις στη σφράγιση της βαλβίδας. Προκειμένου να βελτιωθεί η αξιοπιστία της σφράγισης, η απαίτηση των βαλβίδων χωρίς συσκευασία για την πρόληψη της εξωτερικής διαρροής, δηλαδή της λειτουργίας του στελέχους της βαλβίδας και του σώματος της βαλβίδας μεταξύ της σφράγισης χρησιμοποιώντας μεταλλικό φυσητήρα ή μεταλλικό διάφραγμα, προκειμένου να εξαλειφθεί η διαρροή λόγω της τριβής και της παραμόρφωσης της σφράγισης συσκευασίας. Οι βαλβίδες με σφραγίδα και διαφράγματα που χρησιμοποιούνται συνήθως σε συστήματα επεξεργασίας για εφαρμογές υψηλής καθαρότητας λόγω της μεγαλύτερης αξιοπιστίας των σφραγίδων και της ευκολότερης αντικατάστασης καθαρισμού και καθαρισμού των εσωτερικών βαλβίδων.
Οι βαλβίδες που σφραγίζονται με φυσητήρες είναι μια κατασκευή βαλβίδων βελόνας χωρίς συσκευασία που επιτρέπει την αργή ρύθμιση ανοίγματος και ροής. Χρησιμοποιείται για την ηλεκτρονική γέμιση φυσικού αερίου με απαιτήσεις ροής ασφαλείας ή για φιάλες προδρόμου προέλευσης με υψηλές απαιτήσεις ασφαλείας. Οι σφραγίδες άκρων του στελέχους όλων των μεταλλικών στελεχών επιτρέπουν εξαιρετικά χαμηλές θερμοκρασίες λειτουργίας και χρησιμοποιούνται για κρυογονική υγροποίηση ηλεκτρονικών αέρια ειδικών σε δεξαμενές τελικών προϊόντων μετά από κρυογονική απόσταξη για σωληνώσεις.
Η βαλβίδα σφράγισης χωρίς σπάνια διαφράγματος είναι μια βαλβίδα που ανοίγει 1/4 "για χρήση ως μια αυτόματη ελεγχόμενη βαλβίδα μεταγωγής στις σωληνώσεις παράδοσης. Χρησιμοποιούνται συνήθως σε εφαρμογές υψηλής πίεσης υψηλής πίεσης λόγω της απλής εσωτερικής διαδρομής ροής, μικρού εσωτερικού όγκου και ευκολίας καθαρισμού και αντικατάστασης.
Οι βαλβίδες που σφραγίζονται με διάφραγμα που κλείνουν μέσω της άκρης του στελέχους μπορούν να ανοίξουν αργά και να χρησιμοποιηθούν σε υψηλότερες πιέσεις λειτουργίας από τις βαλβίδες που δεν έχουν διαφράγματα διαφράγματος. Χρησιμοποιούνται ευρέως σε ηλεκτρονική πλήρωση αερίου υψηλής πίεσης ή μπουκάλια προέδρου προέλευσης.
Η βαλβίδα Bellows της δευτερεύουσας σφράγισης δεν μπορεί να χρησιμοποιηθεί μόνο σε συστήματα διεργασιών εξαιρετικά χαμηλής θερμοκρασίας σε -200 μοίρες, αλλά και εμποδίζει τη διαρροή επικίνδυνων μέσων στην ατμόσφαιρα. Συνήθως χρησιμοποιείται για πολύ επικίνδυνα ηλεκτρονικά ειδικά αέρια, όπως το σύστημα πλήρωσης σιλανίου.
Η Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, με πάνω από 10 χρόνια εμπειρίας στην προμήθεια βιομηχανικών και ειδικών αερίων, υλικών, συστημάτων παροχής αερίου και μηχανικής φυσικού αερίου για τους ημιαγωγούς, LED, DRAM, TFT-LCD αγορές Δεν μπορούμε μόνο να παρέχουμε ένα ευρύ φάσμα βαλβίδων και εξαρτημάτων για ηλεκτρονικά αέρια ειδικών ημιαγωγών, αλλά μπορούμε επίσης να σχεδιάσουμε τις σωληνώσεις αερίου και την εγκατάσταση εξοπλισμού για τους πελάτες μας. Εάν έχετε οποιεσδήποτε ανάγκες σε αυτόν τον τομέα, επικοινωνήστε μαζί μας στο 27919860.
Χρόνος δημοσίευσης: Ιουλ-19-2023