Καθώς η αγορά ημιαγωγών αυξάνεται, τα πρότυπα για την καθαρότητα και την ακρίβεια γίνονται πιο αυστηρά. Ένας από τους καθοριστικούς παράγοντες στην ποιότητα της παραγωγής ημιαγωγών είναι τα αέρια που χρησιμοποιούνται στη διαδικασία. Αυτά τα αέρια διαδραματίζουν πολλούς ρόλους στη διαδικασία κατασκευής, συμπεριλαμβανομένων:
Έλεγχος διαδικασίας ακριβείας
Πρόληψη μόλυνσης
Μεταλλουργική βελτίωση
Για την αποτελεσματική εκτέλεση αυτών των ρόλων, το σύστημα παροχής και διανομής αερίου πρέπει να είναι αποτελεσματικό. Ο σχεδιασμός των συστημάτων χειρισμού αερίων που χρησιμοποιούνται στην κατασκευή ημιαγωγών πρέπει να υποστηρίζεται από ισχυρά εξαρτήματα και προσαρμοσμένα συγκροτήματα για να εξασφαλιστεί αξιόπιστη και υψηλής ποιότητας παραγωγή ημιαγωγών.
Τα αέρια που χρησιμοποιούνται στην κατασκευή ημιαγωγών
Η διαδικασία των ημιαγωγών κατασκευής απαιτεί τη χρήση διαφορετικών αερίων σε διαφορετικά στάδια της διαδικασίας.
Ενώ τα κοινά αέρια όπως το άζωτο, το υδρογόνο, το αργόν και το ήλιο μπορούν να χρησιμοποιηθούν στην καθαρή τους μορφή, ορισμένες διεργασίες μπορεί να απαιτούν εξειδικευμένα μίγματα. Σιλάνες ή σιλοξάνες, εξαφθορίδια, αλογονίδια και υδρογονάνθρακες είναι μερικά από τα αέρια ειδικότητας που χρησιμοποιούνται στην κατασκευή ημιαγωγών. Πολλά από αυτά τα αέρια μπορούν να είναι επικίνδυνα ή εξαιρετικά αντιδραστικά, δημιουργώντας προκλήσεις στην επιλογή και το σχεδιασμό των εξαρτημάτων για τα συστήματα αερίου.
Ακολουθούν μερικά παραδείγματα:
\ Το υδρογόνο και το ήλιο μπορούν εύκολα να διαρρεύσουν από συστήματα σωληνώσεων και τοποθέτησης λόγω του μικρού μεγέθους και του βάρους τους.
\ Silanes είναι εξαιρετικά εύφλεκτα και μπορούν αυθόρμητα καύση (αυτόματο -αυγό) στον αέρα.
\ Διπλογονίδιο αζώτου που χρησιμοποιείται στα στάδια εναπόθεσης, χάραξης και θαλάμου γίνεται ένα ισχυρό αέριο θερμοκηπίου όταν διαρρέει στο περιβάλλον.
\ Fluoride υδρογόνου (αέριο χάραξης) είναι εξαιρετικά διαβρωτικό για τις μεταλλικές σωληνώσεις.
\ Το τριμεθυλογαλικό και η αμμωνία μπορεί να είναι δύσκολο να χειριστεί - οι μικρές διακυμάνσεις στις απαιτήσεις θερμοκρασίας και πίεσης μπορούν να επηρεάσουν τη διαδικασία εναπόθεσης.
Ο έλεγχος των συνθηκών της διαδικασίας για την ελαχιστοποίηση των αρνητικών επιπτώσεων αυτών των αερίων πρέπει να αποτελεί κορυφαία προτεραιότητα κατά τη διάρκεια του σχεδιασμού του συστήματος. Είναι εξίσου σημαντικό να χρησιμοποιείτε τα εξαρτήματα υψηλής ποιότητας, όπως βαλβίδες διαφράγματος AFK κατά τη διάρκεια της διαδικασίας κατασκευής.
Αντιμετώπιση προκλήσεων σχεδιασμού συστήματος
Τα αέρια βαθμού ημιαγωγών βρίσκονται στις περισσότερες περιπτώσεις υψηλής καθαρότητας και παρέχουν αδρανείς συνθήκες ή ενισχύουν τις αντιδράσεις σε διαφορετικά στάδια της διαδικασίας παραγωγής, όπως τα αέρια χάραξης και εναπόθεσης. Η διαρροή ή η μόλυνση τέτοιων αερίων μπορεί να έχουν αρνητικές επιπτώσεις. Ως εκ τούτου, είναι κρίσιμο για τα συστατικά του συστήματος που χρησιμοποιούνται για να είναι ερμητικά σφραγισμένα και ανθεκτικά στη διάβρωση, καθώς και ένα ομαλό φινίρισμα επιφάνειας (ηλεκτρολυτική στίλβωση) για να εξασφαλιστεί ότι δεν υπάρχει πιθανότητα μόλυνσης και ότι μπορεί να διατηρηθεί ένα εξαιρετικά υψηλό επίπεδο καθαριότητας.
Επιπλέον, ορισμένα από αυτά τα αέρια μπορούν να θερμαίνονται ή να ψύχονται για να επιτευχθούν οι επιθυμητές συνθήκες διεργασίας. Τα καλά μονωμένα εξαρτήματα εξασφαλίζουν τον έλεγχο της θερμοκρασίας, ο οποίος είναι κρίσιμος για την αποτελεσματική απόδοση του τελικού προϊόντος.
Από την είσοδο πηγής μέχρι το σημείο χρήσης, το ευρύ φάσμα εξαρτημάτων της AFK υποστηρίζει την εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα, θερμοκρασία, πίεση και έλεγχο ροής που απαιτείται σε καθαρισμούς ημιαγωγών και θαλάμους κενού.
Σχεδιασμένα συστήματα με ποιοτικά εξαρτήματα σε Semiconductor Fabs
Ο ρόλος των στοιχείων ποιότητας και της βελτιστοποίησης του σχεδιασμού είναι κρίσιμος για τον ακριβή έλεγχο και την ασφαλή κατασκευή ημιαγωγών. Τα χρησιμοποιούμενα στοιχεία πρέπει να είναι ανθεκτικά και χωρίς διαρροές ώστε να ταιριάζουν με τις μεταβαλλόμενες συνθήκες διαδικασίας που απαιτούνται σε διαφορετικά στάδια της παραγωγής.
Εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα
Σφραγίδες χωρίς διαρροές
Μόνωση ελεγχόμενης θερμοκρασίας
Έλεγχος πίεσης
Αντοχή στη διάβρωση
Ηλεκτρολυτική θεραπεία στίλβας
Χρόνος δημοσίευσης: Οκτ-09-2023