Η χρήση αερίων στη βιομηχανία ημιαγωγών χρονολογείται από τις αρχές της δεκαετίας του 1950 έως τη δεκαετία του 1960. Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας κατασκευής ημιαγωγών, τα αέρια χρησιμοποιούνται κυρίως για τον καθαρισμό και την προστασία των υλικών ημιαγωγών για να εξασφαλίσουν την καθαρότητα και την ποιότητά τους. Μεταξύ των πιο συχνά χρησιμοποιούμενων αερίων είναι το άζωτο και το υδρογόνο.
Καθώς η τεχνολογία ημιαγωγών ανέπτυξε και οι διαδικασίες παραγωγής συνέχισαν να βελτιώνονται, η ζήτηση για αέρια αυξήθηκε. In 1970, further development of semiconductor manufacturing technology, the application of gases in key processes such as etching and deposition of thin films gradually increased, and fluoride gases (eg SF6) and oxygen became commonly used etching and deposition gases. Το 1980 είδε μια περαιτέρω αύξηση της ζήτησης για αέρια με την ανάπτυξη ολοκληρωμένων κυκλωμάτων και την αύξηση της ζήτησης για αυτά. Το υδρογόνο χρησιμοποιήθηκε ευρέως στη διαδικασία κατασκευής, συμπεριλαμβανομένης της ανόπτησης υδρογόνου και της εναπόθεσης ατμών υδρογόνου. And from 1990 to the present, the demand for high-purity gases and specific gases has increased as semiconductor device sizes have continued to shrink and new processes have been introduced. Για παράδειγμα, η εφαρμογή ακραίας υπεριώδους λιθογραφίας (EUV) απαιτεί τη χρήση εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας αέρια όπως το άζωτο και το υδρογόνο.
Το αέριο των ημιαγωγών συνεχίζει να αυξάνεται με την ανάπτυξη σχετικών προϊόντων που οδηγούνται από όλο και περισσότερα προϊόντα αποκαλύπτονται, ενώ το αέριο ανήκει επίσης στην πηγή κινδύνου, έτσι ώστε τα προϊόντα που χρησιμοποιούνται για την αποσυμπίεση αερίου, τα προϊόντα ανίχνευσης αερίου και την πρόληψη των προϊόντων διαρροής αερίου, όπως οι ρυθμιστές πίεσης, οι βαλβίδες αερίου, οι μετρητές πίεσης αερίου, ο ανιχνευτής διαρροής αερίου κλπ.
Ρυθμιστές πίεσης: Οι ρυθμιστές πίεσης είναι συσκευές που χρησιμοποιούνται για τον έλεγχο της πίεσης του αερίου. Συνήθως αποτελούνται από μια βαλβίδα ρυθμιστή και έναν αισθητήρα πίεσης. Οι ρυθμιστές πίεσης λαμβάνουν εισροή αερίου υψηλής πίεσης και σταθεροποιούν την πίεση του αερίου εξόδου προσαρμόζοντας τη βαλβίδα για να πληρούν συγκεκριμένες απαιτήσεις εφαρμογής. Οι ρυθμιστές πίεσης χρησιμοποιούνται ευρέως σε τομείς όπως η βιομηχανία, η κατασκευή και τα εργαστήρια, καθώς και στη βιομηχανία ημιαγωγών, μεταξύ άλλων, για να εξασφαλιστεί η σταθερότητα και η ασφάλεια της παροχής αερίου.
Βαλβίδες αερίου: Οι βαλβίδες αερίου χρησιμοποιούνται για τον έλεγχο της ροής των αερίων και για το κλείσιμο των περασμάτων αερίου. Συνήθως έχουν μια λειτουργία on/off που ανοίγει ή κλείνει τη ροή αερίου. Υπάρχουν διάφοροι τύποι βαλβίδων αερίου, συμπεριλαμβανομένων χειροκίνητων βαλβίδων, ηλεκτρικών βαλβίδων και πνευματικών βαλβίδων. Χρησιμοποιούνται ευρέως σε συστήματα αερίου για τον έλεγχο της ροής, της πίεσης και της ροής των αερίων.
Μέτροι πίεσης αερίου: Οι μετρητές πίεσης αερίου χρησιμοποιούνται για τη μέτρηση του επιπέδου πίεσης ενός αερίου. Συνήθως εγκαθίστανται σε κρίσιμες τοποθεσίες σε συστήματα αερίου για την παρακολούθηση των αλλαγών πίεσης και διασφαλίζουν ότι βρίσκονται εντός ασφαλών ορίων. Οι μετρητές πίεσης αερίου χρησιμοποιούνται ευρέως στη βιομηχανία, την κατασκευή και τα εργαστήρια και η βιομηχανία ημιαγωγών έχει επίσης εμπλακεί.
Ανιχνευτές διαρροής αερίου: Οι ανιχνευτές διαρροής αερίου χρησιμοποιούνται για την ανίχνευση διαρροών σε συστήματα αερίου. ΕντοπίζουνΗ παρουσία διαρροών αερίου και ακούγεται ένας συναγερμός έτσι ώστε να μπορεί να ληφθεί έγκαιρη δράση για την πρόληψη ατυχημάτων διαρροής. Οι ανιχνευτές διαρροής αερίου χρησιμοποιούνται ευρέως σε βιομηχανικές, χημικές, πετρελαϊκές και φυσικές εφαρμογές και η βιομηχανία ημιαγωγών έχει επίσης εμπλακεί.
Χρόνος δημοσίευσης: Φεβ-20-2024