Τα διαφορετικά χημικά και αέρια που χρησιμοποιούνται στην κατασκευή ημιαγωγών απαιτούν ισχυρά συστήματα υγρών για αδιάλειπτη παροχή σε κάθε στάδιο παραγωγής. Αυτά τα συστήματα υγρών πρέπει να είναι σε θέση να υποστηρίζουν τις ακραίες συνθήκες διεργασίας που απαιτούνται για την κατασκευή ημιαγωγών, εξασφαλίζοντας παράλληλα μια καθαρή, χωρίς διαρροές και ελεγχόμενη διαδικασία. Επομένως, η επιλογή των στοιχείων του συστήματος υγρών είναι κρίσιμη στη διαδικασία παραγωγής ημιαγωγών ακριβείας.
Η επιλογή εξαρτημάτων υψηλής ποιότητας υγρού συστήματος είναι συνώνυμη με την αυξημένη αποδοτικότητα της παραγωγής και το μειωμένο χρόνο διακοπής του συστήματος. Όσον αφορά τη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών, θα συζητήσουμε τον κρίσιμο ρόλο των στοιχείων του συστήματος υγρών και τη σημασία της αξιοπιστίας τους.
Σημασία των στοιχείων του συστήματος υγρών στην κατασκευή ημιαγωγών
Τα συστατικά του συστήματος υγρών στην κατασκευή ημιαγωγών περιλαμβάνουν διαφορετική χημική ανάμειξη, μεταφορά και συστήματα ελέγχου για την ασφαλή μεταφορά χημικών υγρών σε ελεγχόμενο περιβάλλον. Ένα ιδανικό σύστημα υγρών έχει:
➢ Ομοιόμορφη χημική ανάμειξη
➢ Έλεγχος περιποίησης
➢ Έλεγχος θητείας και πίεσης
➢ Χημική παροχή
Μόνο τα συστατικά υψηλής ποιότητας μπορούν να παρέχουν τέτοιες ιδανικές συνθήκες σε ένα σύστημα υγρού ημιαγωγού. Τα πλεονεκτήματα της χρήσης τέτοιων στοιχείων περιλαμβάνουν:
Ακριβώς: Τα εξαρτήματα όπως οι βαλβίδες, οι ρυθμιστές και οι αντλίες λειτουργούν παράλληλα για να διασφαλιστεί ότι η σωστή αναλογία χημικών παραδίδεται στο κύτταρο παραγωγής. Οι ακριβείς εισροές εξαλείφουν τον κίνδυνο παραλλαγών ροής, οι οποίες βελτιώνουν την ποιότητα του τελικού προϊόντος.
Συμβατότητα και καθαριότητα: Τα συστατικά του συστήματος υγρών με συνθέσεις υλικών που είναι συμβατές με τα υγρά της διαδικασίας μειώνουν τον κίνδυνο μόλυνσης. Επιπλέον, η εγκατάσταση χωρίς διαρροές αυτών των στοιχείων του συστήματος υγρού μειώνει τις μολυσματικές ουσίες των σωματιδίων, παρέχοντας ένα καθαρό και ελεγχόμενο περιβάλλον παραγωγής για βελτιωμένες αποδόσεις.
Ασφάλεια: Τα αέρια και τα χημικά που χρησιμοποιούνται στην κατασκευή ημιαγωγών μπορεί να είναι επιβλαβή για την ανθρώπινη υγεία. Ωστόσο, τα συστατικά του συστήματος υγρών που έχουν σχεδιαστεί για να αποφεύγουν διαρροές και διαρροές μπορούν να παραδώσουν αυτά τα υγρά σε μονάδες παραγωγής με ασφαλή και ελεγχόμενο τρόπο.
Αποδοτικότητα: Η κατασκευή χωρίς διαρροές και ο ακριβής έλεγχος των συστατικών του συστήματος υγρού υψηλής ποιότητας ελαχιστοποιούν τις λειτουργικές απαιτήσεις διακοπής και συχνών απαιτήσεων συντήρησης, προωθώντας την ομαλή, αποτελεσματική κατασκευή για την επίτευξη των στόχων παραγωγής.
Διαλύματα συστατικών συστήματος ποιότητας Fluid System
Τα στοιχεία του συστήματος υγρών απαιτούν εγκαταστάσεις υψηλής ποιότητας για να αντιμετωπίσουν τις προκλήσεις της κατασκευής ημιαγωγών. Τα βασικά εξαρτήματα που επηρεάζουν το fab περιλαμβάνουν:
Βαλβίδες: βαλβίδες υψηλής απόδοσης, όπως διάφραγμα, φυσητήρες ή βαλβίδες βελόνας, ρυθμίζουν ιδανικά τη ροή υγρών στις εγκαταστάσεις παραγωγής. Οι ανθεκτικές βαλβίδες υψηλής ποιότητας παρέχουν την ακρίβεια και τον έλεγχο που απαιτούνται για τη βελτίωση της αποτελεσματικότητας των διαδικασιών παραγωγής και χειρισμού για την κρίσιμη παραγωγή ημιαγωγών.
Εξαρτήματα: Τα εξαρτήματα υψηλής καθαρότητας για συστήματα σωλήνων και εύκαμπτων σωλήνων και άλλα κρίσιμα εξαρτήματα παρέχουν σφραγισμένες συνδέσεις για την ενίσχυση της ασφάλειας και της καθαρότητας των εξαρτημάτων του συστήματος υγρών.
Σωλήνες: Για απαιτήσεις παραγωγής ακριβείας, οι μονωμένοι σωλήνες βοηθούν στη θερμική διαχείριση, έτσι ώστε οι συνθήκες διεργασίας εντός της αίθουσας παραγωγής να μπορούν να διατηρηθούν βέλτιστα. Αυτό είναι σημαντικό επειδή η παραμικρή διακύμανση της θερμοκρασίας μπορεί να βλάψει τα τσιπ και να οδηγήσει σε απόβλητα παραγωγής.
Fextible Tubing: Όπου επιτρέπουν οι συνθήκες, οι εύκαμπτες σωληνώσεις μπορούν να χρησιμοποιηθούν για τη μείωση του αριθμού των εξαρτημάτων σε ένα συγκρότημα υγρού συστήματος. Η σωλήνωση είναι κάμψη για να ληφθεί η επιθυμητή διαδρομή υγρού. Λιγότερα εξαρτήματα σημαίνει μικρότερο κίνδυνο διαρροών και ζημιών λόγω κραδασμών και κίνησης.
Ρυθμιστές: Οι ρυθμιστές ελέγχουν αποτελεσματικά την πίεση σε κάθε στάδιο της διαδικασίας παραγωγής ημιαγωγών. Η σταθερή και ακριβής ροή επιτυγχάνει συνεπείς, υψηλής ποιότητας αποδόσεις, αποφεύγοντας ταυτόχρονα χημικά υγρά και ειδικά υλικά.
Φίλτρα: Ένα μόνο σωματίδιο μπορεί να επηρεάσει την απόδοση των ημιαγωγών. Η χρήση φίλτρων εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας εξαλείφει τη μόλυνση των σωματιδίων και ελαχιστοποιεί τη βλάβη των τσιπ.
Η αποτελεσματικότητα του συστήματος υγρών στην κατασκευή ημιαγωγών μπορεί να επιτευχθεί με το ευρύ φάσμα των βαλβίδων υψηλής ποιότητας, των ρυθμιστικών, των ρυθμιστικών, των εύκαμπτων σωλήνων και των φίλτρων.
Χρόνος δημοσίευσης: Οκτ-09-2023