Ο εξοπλισμός επεξεργασίας αερίου ουράς μπορεί να χειριστεί τα αέρια που χρησιμοποιούνται σε διεργασίες χάραξης και διεργασίες απόθεσης χημικών ατμών στις βιομηχανίες ημιαγωγών, υγρών κρυστάλλων και ηλιακής ενέργειας, συμπεριλαμβανομένων των SIH4, SIH2CL2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O και SO ON.
Μέθοδος επεξεργασίας καυσαερίων
Σύμφωνα με τα χαρακτηριστικά της θεραπείας καυσαερίων, η θεραπεία μπορεί να χωριστεί σε τέσσερις τύπους θεραπείας:
1. Τύπος πλύσης νερού (θεραπεία διαβρωτικών αερίων)
2. Τύπος οξειδώσεως (που ασχολείται με καύσιμα και τοξικά αέρια)
3. Προσρόφηση (σύμφωνα με τον τύπο προσρόφησης για την αντιμετώπιση του αντίστοιχου καυσαερίου).
4. Τύπος καύσης Plasma (όλοι οι τύποι καυσαερίων μπορούν να αντιμετωπιστούν).
Κάθε τύπος θεραπείας έχει τα δικά της πλεονεκτήματα και μειονεκτήματα καθώς και το πεδίο εφαρμογής της. Όταν η μέθοδος επεξεργασίας είναι πλύσιμο νερού, ο εξοπλισμός είναι φτηνός και απλός και μπορεί να χειριστεί μόνο υδατοδιαλυτά αέρια. Το εύρος εφαρμογής του τύπου πλύσης ηλεκτρικού νερού είναι υψηλότερο από αυτό του τύπου πλύσης νερού, αλλά το κόστος λειτουργίας είναι υψηλό. Ο ξηρός τύπος έχει καλή απόδοση θεραπείας και δεν ισχύει για τη ροή αερίου που είναι εύκολο να φραγθεί ή να ρέει.
Οι χημικές ουσίες και τα υποπροϊόντα τους που χρησιμοποιούνται συνήθως στη βιομηχανία ημιαγωγών μπορούν να κατηγοριοποιηθούν σύμφωνα με τις χημικές τους ιδιότητες και τις διαφορετικές τους περιοχές:
1. Εύφλεκτα αέρια όπως SIH4H2, κλπ.
2. Τοξικά αέρια όπως Ash3, ph3, κλπ.
3. Τα διαβρωτικά αέρια όπως HF, HCl κ.λπ.
4. Τα αέρια θερμοκηπίου όπως CF4, NF3, κλπ.
Δεδομένου ότι τα παραπάνω τέσσερα αέρια είναι επιβλαβή για το περιβάλλον ή το ανθρώπινο σώμα, πρέπει να αποτρέπουν την άμεση εκπομπή του στην ατμόσφαιρα, έτσι ώστε το γενικό εργοστάσιο ημιαγωγών να εγκατασταθεί με ένα μεγάλο κεντρικό σύστημα επεξεργασίας καυσαερίων, αλλά αυτό το σύστημα είναι μόνο η εξάτμιση του νερού, επομένως η εφαρμογή του περιορίζεται στην υδατοδιαλυτή υδατοδιαλυτή αέρια και δεν μπορεί να ασχοληθεί με το συνεχώς μεταβαλλόμενο και το δευτερεύον τμήμα της διαμόρφωσης των υδάτων, η διαδικασία του εδάφους. Ως εκ τούτου, είναι απαραίτητο να επιλέξετε και να ταιριάξετε τον αντίστοιχο εξοπλισμό επεξεργασίας καυσαερίων σύμφωνα με τα χαρακτηριστικά του φυσικού αερίου που προέρχονται από κάθε διαδικασία προκειμένου να λυθεί το πρόβλημα της εξάτμισης με μικρό τρόπο. Καθώς ο χώρος εργασίας είναι ως επί το πλείστον μακριά από το κεντρικό σύστημα επεξεργασίας καυσαερίων, συχνά λόγω των χαρακτηριστικών του αερίου οδηγεί σε κρυστάλλωση ή συσσώρευση σκόνης, με αποτέλεσμα την απόφραξη του αγωγού που οδηγεί σε διαρροή αερίου και σε σοβαρές περιπτώσεις, ακόμη και να προκαλέσει έκρηξη, δεν μπορεί να εξασφαλίσει ότι το προσωπικό της εργασίας του χώρου. Ως εκ τούτου, στην περιοχή εργασίας πρέπει να διαμορφώσουν έναν μικρό εξοπλισμό επεξεργασίας καυσαερίων κατάλληλο για τα χαρακτηριστικά του αερίου της διαδικασίας, προκειμένου να μειωθεί το στάσιμο καυσαερίδες στην περιοχή εργασίας, για να εξασφαλιστεί η ασφάλεια του προσωπικού.
Χρόνος δημοσίευσης: Αυγ. 10-2023