,
1 | Μέγιστη πίεση εργασίας 20,6 Mpa. |
2 | Μέγιστη.θερμοκρασία εργασίας 204℃ (περιβάλλον υψηλής θερμοκρασίας έως 454℃, αυτή τη στιγμή το υλικό στεγανοποίησης αντικαθίσταται με διογκωμένο γραφίτη) |
3 | Σύστημα φίλτρου Ισχύουν σωματιδιακοί ρύποι, αέρια, υγρά. |
4 | Ακρίβεια φίλτρου πυροσυσσωματωμένου φίλτρου μεταλλουργίας σκόνης ανοξείδωτου χάλυβα 2μm~40μm |
5 | Ροή φίλτρου 1x 10 -6~1×10-2L/min.cm2.πα |
6 | Το φίλτρο μπορεί να αλλάξει. |
Χαρακτηριστικά προϊόντος του φίλτρου
1 | Ευρύ εύρος εφαρμογής, εύρος ροής από 15 έως 300 SL / λεπτό. |
2 | Έχει καλή συμβατότητα με τα περισσότερα αέρια διεργασίας ημιαγωγών υψηλής καθαρότητας. |
3 | Η ικανότητα φιλτραρίσματος 3 νανοσωματιδίων διατηρεί υψηλή απόδοση ροής και εξαιρετικά μικρή πτώση πίεσης. |
4 | Η ηλεκτρογυαλισμένη επιφάνεια 5Ra μπορεί να αποτρέψει την εσωτερική ρύπανση. |
5 | Ψήστε με ζεστό άζωτο μετά από απιονισμένο νερό για να πληροίτε τα πρότυπα διεργασίας ημιαγωγών. |
6 | Περιβάλλον εργαστηρίου παραγωγής, καθαρισμού και συσκευασίας ασηπτικών 1000 επιπέδων χωρίς σκόνη. |
7 | Ελέγξτε για 100% διαρροή ηλίου. |
Είσοδος | Εξοδος | |
1 | Εξάρτημα σωλήνα 1/8″ | Εξάρτημα σωλήνα 1/8″ |
2 | Εξάρτημα σωλήνα 1/4″ | Εξάρτημα σωλήνα 1/4″ |
3 | Εξάρτημα σωλήνα 3/8". | Εξάρτημα σωλήνα 3/8". |
4 | Εξάρτημα σωλήνα 1/2″ | Εξάρτημα σωλήνα 1/2″ |
5 | Εξάρτημα σωλήνα 6mm | Εξάρτημα σωλήνα 6mm |
6 | Εξάρτημα σωλήνα 8mm | Εξάρτημα σωλήνα 8mm |
7 | Εξάρτημα σωλήνα 10mm | Εξάρτημα σωλήνα 10mm |
8 | Εξάρτημα σωλήνα 12mm | Εξάρτημα σωλήνα 12mm |
9 | 1/8″ Γυναικείο NPT | 1/8″ Γυναικείο NPT |
10 | 1/4″ Γυναικείο NPT | 1/4″ Γυναικείο NPT |
11 | 1/4″ Αρσενικό NPT | 1/4″ Αρσενικό NPT |
12 | 3/8″ Αρσενικό NPT | 3/8″ Αρσενικό NPT |
13 | 1/2″ Αρσενικό NPT | 1/2″ Αρσενικό NPT |
Παράμετροι απόδοσης προϊόντος του φίλτρου
1 | Ακρίβεια φιλτραρίσματος | ≥0,0025μm | |
2 | Αποδοτικότητα φιλτραρίσματος | Ρυθμός αφαίρεσης99,99999%≥0,0025μm | |
3 | Ονομαστική ροή | 15 λίτρα/λεπτό | |
4 | 60L/Min | ||
5 | 120 λίτρα/λεπτό | ||
6 | 200 λίτρα/λεπτό | ||
7 | 300 λίτρα/λεπτό | ||
8 | Σύνθεση φίλτρου | στοιχείο φίλτρου | 316L/PTFE |
9 | στέγαση | ανοξείδωτο ατσάλι 316L | |
10 | Συνθήκες εργασίας | Μέγιστη πίεση εισόδου | 21Mpa (310kgf/cm2) |
11 | Μέγιστη διαφορική πίεση | 15Mpa (153kgf/cm2) | |
12 | Μέγιστη θερμοκρασία λειτουργίας | 430℃ (αδρανές αέριο) | |
13 | Ποσοστό διαρροής ηλίου | 1×10-9 atm.cc/sec | |
14 | Φινίρισμα επιφάνειας | ≤Ra 5μin |